半导体无尘车间择优推荐

分散式空调净化系统的净化方式

净化工程墙面标准

1.检测的五项平均值小于3倍，或其中ben系物三项都小于3倍时，使用墙面产品MA。

2.检测的五项平均值大于3倍且不超过5倍，或ben系物三项中的任意一项大于3倍且不超过5倍时，使用墙面产品YA。

3.检测的五项平均值大于5倍，或ben系物其中的任意一项大于5倍，或装修墙面使用的是壁纸环境时，使用墙面产品YAB。

无尘洁净室技术应用？

无尘洁净室的气流速度/换气次数，一直是洁净室设计中受到关注的问题，随着洁净室污染源的控制效果增加及末级过滤器效率的提高等，对有关规范、导则等提 出的推荐或参考值是否偏于保守，已有不少讨论;FFU在应用中人们担心的噪音、损坏维修等问题已在实践中得到解决，随着FFU的不断改进，对是否采用 FFU回风系统也是个热点：悬浮分子污染(AMC)的控制在微电子及IC工业中已日益提到日程上来，受到关注。以下对这些问题的情况分别作归纳和分析。

　 　无尘洁净室内一定洁净度下气流速度的确定，随洁净室用途等具体情况而异，它不仅受室内发尘量及过滤器效率还受其他因素影响，就工业洁净室而言，影响洁净度及选择气流速度的因素主要是：

　　(1)室内污染源：建筑物组件、人员数量及操作活动、工艺设备、工艺材料及工艺加工本身等都是尘粒释放源，根据具体情况而异，变化很大;

　　(2)室内气流流型及分布：单向流要求均匀、平等的流线，但会受到工艺设备布置和位置变动及人员活动情况等的干扰形成局部涡流;而非单向流要求充混合，避免死角及温度分层。

加强并落实建筑和设备的隔热保温措施。这里包括洁净室的墙体、地面、吊顶（或屋面）、门窗的构造、材质的选择等是否满足隔热保温要求，能否可靠地确保洁净室内的温度、相对湿度要求并尽可能降低热（冷）损失；加强洁净室内生产设备的隔热保温措施，尽量减少排热量；加强各类风管、水气管道的隔热保温措施，降低热量，减少能量消耗。